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    當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心半導(dǎo)體電子設(shè)備硅片甩干機(jī)LCS系列全自動(dòng)硅片甩干機(jī)廠家

    全自動(dòng)硅片甩干機(jī)廠家

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    全自動(dòng)硅片甩干機(jī)LCS系列立式旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)本機(jī)是主要應(yīng)用于太陽(yáng)能電池和半導(dǎo)體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節(jié),具有容量大、效率高的特點(diǎn)。

    產(chǎn)品型號(hào):LCS系列
    更新時(shí)間:2025-03-27
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    全自動(dòng)硅片甩干機(jī)是一種專門用于半導(dǎo)體制造過程中的高精密設(shè)備,主要用于清洗和干燥硅片。這種設(shè)備通過自動(dòng)化的流程,能夠高效地去除硅片表面的水分和其他殘留物,確保硅片的清潔度和干燥度,從而滿足后續(xù)工藝的要求。

    全自動(dòng)硅片甩干機(jī)

     

    主要特點(diǎn):

    1.彩色液晶觸摸屏實(shí)時(shí)監(jiān)控,可存儲(chǔ)多種工藝菜單

    2.腔體和轉(zhuǎn)架采用316不銹鋼,電化學(xué)拋光處理

    3.去離子水電阻率監(jiān)控功能

    4.無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)

    5.氮?dú)鉁囟瓤刂?/p>

    6.轉(zhuǎn)軸氮?dú)饷芊?/p>

    7.具有鎖蓋防護(hù)功能

    8.故障診斷、顯示、報(bào)警功能

    9.可提用戶特殊要求配置

    全自動(dòng)硅片甩干機(jī)采用高潔凈度的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能,能夠適應(yīng)不同直徑和形狀的片式材料的清洗需求。設(shè)備設(shè)計(jì)可以適應(yīng)不同直徑的硅片,包括方形和其他特殊形狀的材料。

    設(shè)備采用全自動(dòng)控制,包括去離子水沖洗和加熱的氮?dú)飧稍铮瑢?shí)現(xiàn)晶片襯底后的濕化學(xué)方法的自動(dòng)化處理。具備多項(xiàng)技術(shù)性能指標(biāo),如電源電壓、頻率、功率、絕緣電阻等,確保操作的安全性和穩(wěn)定性

    包括使用氮?dú)夂腿ルx子水的相關(guān)安全性技術(shù)要求,如壓力、耗量、接口管徑和過濾精度等部分設(shè)備采用PLC和觸摸屏控制,實(shí)現(xiàn)整個(gè)過程的智能化,具有故障實(shí)時(shí)顯示和報(bào)警功能。設(shè)備設(shè)計(jì)考慮了節(jié)能和效率,如整個(gè)甩干過程一般只需5-6分鐘。主要部件采用耐腐蝕不銹鋼,并進(jìn)行電化學(xué)拋光處理,以提高設(shè)備的耐用性和清潔度。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)經(jīng)過精密動(dòng)平衡處理,保證工作時(shí)的平衡性,并采用特種減振器以實(shí)現(xiàn)精密減振和阻尼。
    設(shè)備支持多種硅片規(guī)格、不同尺寸的掩模,滿足不同應(yīng)用需求。

     

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